低压气相沉积真空镀膜加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

 溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。通常，利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成，基片作为阳极，真空室中通入0.1-10Pa的气或其它惰性气体，在阴极（靶）1-3KV直流负高压或13.56MHz的射频电压作用下产生辉光放电。电离出的离子轰击靶表面，使得靶原子溅出并沉积在基片上，形成薄膜。溅射方法很多，主要有二级溅射、三级或四级溅射、磁控溅射、对靶溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流射频溅射、离子束溅射以及反应溅射等。

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 真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、真空束流沉积、化学气相沉积等多种方法。除化学气相沉积法外，其他几种方法均具有以下的共同特点：

(1)蒸发或溅射出来的制膜材料，在与待镀的工件生成薄膜的过程中，对其膜厚可进行比较精i确的测量和控制，从而保证膜厚的均匀性。

(2)每种薄膜都可以通过微调阀精i确地控制镀膜室中残余气体的成分和质量分数，从而防止蒸镀材料的氧化，把氧的质量分数降低到较小的程度，还可以充入惰性气体等，这对于湿式镀膜而言是无法实现的。

(3)由于镀膜设备的不断改进，镀膜过程可以实现连续化，从而较大地提高产品的产量，而且在生产过程中对环境无污染。

(4)由于在真空条件下制膜，氧化镍真空镀膜厂商，所以薄膜的纯度高、密实性好、表面光亮不需要再加工，这就使得薄膜的力学性能和化学性能比电镀膜和化学膜好。

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汽车玻璃膜（又称：太阳膜）经历了四代真正意义上的生产工艺发展（涂布工艺、染色工艺、真空热蒸发工艺和磁控溅射工艺），上海氧化镍真空镀膜，如今早已成为中国3亿多车主为熟悉的汽车附属品之一。尽管如此，磁控溅射工艺作为玻璃膜的高工艺，大部分车主却并未有深刻的理解，这也导致车主们对于磁控溅射膜高昂的价格望而却步。原理：低压气体在高频电场中的发光现象。辉光球工作时，在球中央的电极周围形成一个类似为点电荷的场。当用手（人与大地相连）触及球时，球周围的电场、电势分布不再均匀对称，故辉光在手指周围处变得更为明亮，产生的弧线顺着手的触摸移动而游动扭曲，随手指移动起舞。

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