MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，电子束曝光微纳加工技术，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳制造技术属国际前沿技术，作为未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键。

微纳制造技术不只是加工方法米），到纳米级（千分之一微米），于是，“微的问题，同样是制造装备的问题。高精密纳技术”这一概念就应运而生了。仪器设备及高精度制造、测量技术也是制微纳技术在二十多年的发展过程中。约我国微纳技术发展的因素之一。从刚开始的单纯理论性质的基础研究衍生微机电系统的应用领域出了许多细分。如微纳级精度和表面形貌微型机电系统可以说是目前的测量，微纳级表层物理、化学、机械性能微纳技术应用较为普遍的了，如专i用集成的检测，微纳级精度的加工和微纳级表层微型仪器，微型机器人。微型惯性仪表．以的加工原子和分子的去除、搬迁和重组，以及小型、微型甚至是纳米卫i星等。尤其是及纳米材料纳米级微传感器和控制技术惯性仪表，它是指陀螺仪、加速度表和惯微型和超微型机械；微型和超微型机电系性测量平台，刻蚀微纳加工技术，是航空、航天、航海中指示。

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微纳加工技术的特点微电子化。

机械微加工是微纳制造中较方便，重庆微纳加工技术，也较接近传统材料加工方式的微成型技术。它一般包括车削、钻孔、磨削等加工法。现代机械微加工为提高精度和自动化程度，通常配备有计算机控制系统数字控制机床等，再通过金刚石刀具在材料表面制备出高质量的微结构。机械微加工法的工艺过程简单，加工过程方便，但对加工材料有选择性。它常采用的加工材料是铜合金、镍合金等。像钢这种我们较常用的金属材料，却不能用机械微加工法来做，因为钢中含碳会和金刚石刀具发生反应。另外，机械微加工法能得到的较小微结构尺寸非常有限，仅为200微米左右，这也限制了该方法在更小尺寸微结构器件方面的应用。

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微纳技术的应用领域也得到了比较大拓展。

仿生学是近年来发展起来的一门工程技术与生物科学相结合的交叉学科。仿生学研究生物体的结构、功能和工作原理，并将这些原理移植于工程技术之中，试图在技术上模仿植物和动物在自然中的功能，发明性能优越的仪器、装置和机器，创造新技术。就聚合物仿生功能材料而言，在聚合物材料表面加工出不同形式的微纳结构就会赋予材料不同的性能。超疏水表面是指水滴在表面的接触角大于150°，同时滚动角小于10°的一种特殊表面。在过去的20年里，超疏水表面诱人的潜在应用价值已经引起了科学家们极大的兴趣。自然界中，荷叶表面是超疏水的典型象征，其表面的接触角高达160°。展示了荷叶的超疏水效果及其表面微观结构。荷叶表面的这种超疏水特性是由微米乳突和低表面能的蜡状晶体共同引起的。通过在聚合物材料表面构建类荷叶状的周期性微纳米结构可以获得具有优异超疏水性能的聚合物制品，可用于汽车后视镜等有防水防雾需求的场合。

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刻蚀微纳加工技术-重庆微纳加工技术-半导体微纳(查看)由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所是广东 广州 ,电子、电工产品加工的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在半导体研究所领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创半导体研究所更加美好的未来。