MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。

平台目前已配备各类微纳加工和表征测试设备70余台套，正在运行一条相对完整的微纳米加工工艺线，内蒙古自治微纳加工，涵盖了图形发生、薄膜制备、材料刻蚀、键合封装、表征测试等常见的工艺段，MEMS微纳加工，可以进行常见微纳米结构和器件的加工，极限线宽达到10纳米，材料种类包括硅基、碳基、i金属、聚合物、化合物半导体、二维纳米等多种类型材料，可以有力支撑多学科领域的微纳米器件加工以及微纳米结构的表征测试需求，设备总值超过1亿元，整体设备工艺能力达到国内外先进微纳加工的水平。

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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，光电器件微纳加工，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

干法刻蚀能够满足亚微米/纳米线宽制程技术的要求，且在微纳加工技术中被大量使用。

当前纳米制造技术在环境友好方面有望大展身手的一些领域：

1、蓄电：改进传统充电电池的效率，使之能用于运输领域来减少排放，或作为高i效可再生能源的备用能源。纳米技术有望用于开发超级电容器，微纳加工价钱，为蓄电提供新的解决方案。

2、热电：新型纳米材料可将废热转化为电能，因而对于那些利用燃烧作为主要供能方式的领域（如混合动力汽车）来说，这将较大促进节能。

3、燃料电池：作为可持续氢经济的组成部分或者是基于燃料电池的高i效的碳氢化合物，在减少汽车尾气排放方面都大有潜力可挖，抑或作为热电联产电站，来降低排放。

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MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

“纳米制造”路线图强调了未来纳米表面制造的发展。

MINAM的一个重要的战略研究议题就是在全欧洲范围内促进微纳技术的研究和开发，鉴定涌现出来的新趋势，对未来研发投资进行战略指导，以在微纳制造技术领域内实现欧洲可持续的领导地位。另外，MINAM还将在4个关键领域确定战略研究的优先级：纳米材料的制造、纳米表面的加工、微制造加工和集成的微纳制造系统/平台的开发。值得注意的是，微纳制造业是一个高度资金密集和知识密集产业，因此对于新技术的开发投资必须由风险投资者、高校研究组织和公共团体协作完成。

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内蒙古自治微纳加工-半导体真空镀膜加工厂-光电器件微纳加工由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所是广东 广州 ,电子、电工产品加工的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在半导体研究所领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创半导体研究所更加美好的未来。