氮化镓材料刻蚀加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

按照被刻蚀的材料类型来划分，干法刻蚀主要分成三种：金属刻蚀、介质刻蚀和硅刻蚀。

刻蚀是按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性刻蚀的技术，它是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺。刻蚀分为干法刻蚀和湿法腐蚀。原位芯片目前掌握多种刻蚀工艺，并会根据客户的需求，设计刻蚀效果好且高的刻蚀解决方案。刻蚀技术主要应用于半导体器件，集成电路制造，薄膜电路，MEMS材料刻蚀价格，印刷电路和其他微细图形的加工等。广东省科学院半导体研究所。

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按材料来分，刻蚀主要分成三种：金属刻蚀、介质刻蚀、和硅刻蚀。

材料刻蚀分为干法刻蚀和湿法刻蚀。湿法刻蚀一般采用化学腐蚀进行，是传统的刻蚀工艺，半导体材料刻蚀价格，他具有各项同性的缺点，就是在刻蚀过程中不但有需要的纵向刻蚀，还有不需要的横向刻蚀，因精度差，线宽一般在3微米以上。干法刻蚀是集成电路生产需要而开发出来的精细加工技术，具有各项同性和各项异性的特点，能保证纵向刻蚀而控制横向刻蚀。

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干法刻蚀种类比较多，包括光挥发、气相腐蚀、等离子体腐蚀等。

理想情况下，晶圆所有点的刻蚀速率都一致（均匀）。晶圆不同点刻蚀速率不同的情况称为非均匀性（或者称为微负载），通常以百分比表示。减少非均匀性和微负载是刻蚀的重要目标。应用材料公司一直以来不断开发具有成本效益的创新解决方案，来应对不断变化的蚀刻难题。这些难题可能源自于器件尺寸的不断缩小；所用材料的变化（例如高k薄膜或多孔较低k介电薄膜）；器件架构多样化（例如FinFET和三维NAND晶体管）；以及新的封装方式（例如硅穿孔（TSV）技术）。

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