MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工平台就是一个小工厂，虽然是科研但是设备不比真正的量生设备便宜。

激光技术被誉为20世纪四大重要发明之一，随着小型电子产品和微电子元器件需求的激增，激光微加工已成为激光在工业应用中发展极快的领域之一。激光能量密度高、方向性好、光斑大小可调，镀膜微纳加工，激光加工利用其这些特点将光能转变为热能来蚀除材料。激光微加工的材料种类非常广，湖南微纳加工，几乎囊括了所有金属和非金属材料，它与机械微加工相比属于非接触式加工，不存在工具损耗，也没有明显的机械力，因而不会产生加工变形。目前激光微加工技术仍处于发展初期，随着激光技术的发展（如光源、能量密度等的改善），相信未来此“神技”在微纳制造中会大展拳脚。

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微成型模具是成型上述微制品的重要装备，其设计的合理性和加工质量直接决定了微制品的成型质量。

微纳制造的加工材料多种多样，相对金属材料与硅和玻璃等无机材料而言，聚合物基材廉价易得且具有更好的生物兼容性、电绝缘隔离性、热隔离性等性能。近年来，基于聚合物的微加工制造技术已成为微细加工中的又一研究热点。大量学者对基于聚合物的微加工技术如微注射成型技术、微铸造技术及微压印技术进行了深入的研究。由于聚合物材料提供了相当普遍的物理及化学性质，同时具有成本低及适用于大批量制造等众多优点，因而随着微纳米技术的不断发展，聚合物材料在光学、化学、生物及微机电领域中获得了越来越普遍的应用，不同微纳结构制品具有不同的性能与应用场合。

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微机电系统、微光电系统、生物微机电系统等是微纳米技术的重要应用领域。

聚合物等温微纳米热压印技术同时适用于结晶型聚合物和非晶型聚合物，研究人员分别选用PP和PMMA作为两类聚合物的象征，对较优加工工艺及其内在成型机理展开探索。结果表明，对PMMA等非晶型聚合物而言，光电器件微纳加工，模具温度设定在Tg附近即可获得成型效果优异的微纳结构制品；在加工PP等结晶型聚合物时，模具温度则应设置在Tm以下40~60℃的温度区间内。利用聚合物等温微纳米热压印技术制得的微纳结构制品结构稳定，微纳结构一致性高且成型效率i高。目前，聚合物等温微纳米压印方法的相关中心技术已申请国家发明专i利和PCT国际专i利。相信在全i球范围内的微纳制造技术研发大潮中，聚合物等温微纳米热压印技术的出现会为研究人员提供新的灵感和动力。

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