MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
微纳技术制造的未来发展与趋势
制造业的发展，半导体微纳加工价钱，目前对加工精度的的要求越来越高，微纳制造伴随着应运而生。截至到目前为止，微纳技术在国i防军i工及民用产品已经得到广泛应用，特别体现在纳米级机械加工、电子束、LIGA技术和扫描隧道显微加工技术、看离子束加工等领域，应用十分广泛。
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mems设计之硅压阻式压力传感器设计
mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备良好线性输出，要考虑其zui大变形量，敏感薄膜表面zui大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。 
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激光微纳制造技术
激光微纳制造技术是微纳制造技术的重要部分，涉及光学，物理，材料，化学，生物，EBL微纳加工价钱，机械，控制等多门学科，综合性较强。它具体是指激光与材料在某种特定条件下相互作用，以此改变材料的物质和形态，实现微米甚至是纳米尺度的控形与控形。
在能量密度，硅硅键合微纳加工价钱，作用空间，以及时间尺度等多方面，激光微纳制造技术都有着近乎极i端的要求。由此也催生出了一批新技术，很大程度上推动了相关学科以及制造业的发展。
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